[发明专利]嵌入式压阻微型应力传感器

摘要

本发明提出一种嵌入式压阻微型应力传感器，由外壳、贴片电阻、敏感元件、印刷电极、底板组成；外壳由厚度为1.8mm，直径7.8mm的环形结构件以及嵌入固定安装在环形结构件一端的不锈钢圆形膜片组成；敏感元件采用扩散硅压阻敏感元件，两个敏感元件处于圆形膜片中心位置，另两个敏感元件处于膜片边缘位置。本发明设计的压阻微型应力传感器采用微电子微机械技术，实现了应力传感器扁平的微型轮廓，可以很方便地装在固体发动机中进行界面应力测量。而且具有拉压双向测量功能，即可以测量压向应力又可以测量拉向应力。

主权项

一种嵌入式压阻微型应力传感器，其特征在于：由外壳、贴片电阻、敏感元件、印刷电极、底板组成；所述外壳由厚度为1.8mm，直径7.8mm的环形结构件以及嵌入固定安装在环形结构件一端的不锈钢圆形膜片组成；所述敏感元件采用扩散硅压阻敏感元件，四个敏感元件烧结在圆形膜片内侧，其中两个敏感元件处于圆形膜片中心位置，另两个敏感元件处于膜片边缘位置；四个敏感元件组成惠斯通电桥；贴片电阻在印刷电极上，印刷电极固定在环形结构件内侧，四个敏感元件与印刷电极共同组成全桥电路；底板嵌入固定安装在环形结构件另一端，与圆形膜片共同将环形结构件内部封闭；环形结构件侧壁开有穿线孔；四根引线接入环形结构件内部，其中两根引线向惠斯通电桥提供直流5V稳压电源，另两根引线输出传感器敏感信号。