[发明专利]一种控制碳化硅单晶生长径向温度梯度的装置及方法在审
| 申请号： | 201610542515.3 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN106048715A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 袁玉平 | 申请（专利权）人： | 江苏拜尔特光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人： | 丁骞 |
| 地址： | 214264 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种控制碳化硅单晶生长径向温度梯度的装置及方法，装置包括设在坩埚盖上方的碳纤维锥形吹风装置，所述碳纤维锥形吹风装置的上端口与碳纤维三通相连，所述碳纤维三通一端口与变频循环风装置相连，所述碳纤维三通另一端口与测温仪相连，所述变频循环风装置和测温仪都与PLC控制系统相连；方法包括根据工艺设定温度和测温仪所测温度进行比较，PLC控制系统发送信号给变频循环风装置调节温度。本发明不需要改变径向位置就可以改变径向温度，可以自动调节径向温度，根据生长晶体的需求设定温度，保持稳定的径向温度，可以保持晶体一直在最佳温度下生长，晶体生长平稳，晶体品质提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 碳化硅 生长 径向 温度梯度 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种控制碳化硅单晶生长径向温度梯度的装置，其特征在于：它包括设在坩埚盖（1）上方的碳纤维锥形吹风装置（2），所述碳纤维锤形吹风装置（2）的上端口与碳纤维三通（3）相连，所述碳纤维三通（3）一端口与变频循环风装置（4）相连，所述碳纤维三通（3）另一端口与测温仪（5）相连，所述变频循环风装置（4）和测温仪（5）都与PLC控制系统（6）相连。
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