[发明专利]磁传感器及其磁检测方法在审
申请号: | 201610532906.7 | 申请日: | 2014-03-24 |
公开(公告)号: | CN105929345A | 公开(公告)日: | 2016-09-07 |
发明(设计)人: | 山下昌哉;山县曜;田中健;御子柴宪彦 | 申请(专利权)人: | 旭化成微电子株式会社 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;H01L43/08 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及磁传感器及其磁检测方法。该磁传感器对2轴方向或者3轴方向的磁进行检测,其具备配置图案,该配置图案由相对于基板平面分别平行地配置的三个以上的磁检测部以及相对于基板平面分别平行地配置的第一聚磁部至第三聚磁部构成,第一聚磁部至第三聚磁部配置成在沿第二聚磁部的长边方向输入磁场时,从第二聚磁部至第一聚磁部形成磁通分量的磁路以及从第二聚磁部至第三聚磁部形成磁通分量的磁路,三个以上的磁检测部具备一方的磁检测部群和另一方的磁检测部群,一方的磁检测部群配置在第二聚磁部与第一聚磁部之间,另一方的磁检测部群配置在第二聚磁部与第三聚磁部之间。该磁传感器能够以可将各磁场分量分离的状态检测各磁场分量。 | ||
搜索关键词: | 传感器 及其 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种磁传感器,对2轴方向或者3轴方向的磁进行检测,具备配置图案,该配置图案包括相对于基板平面分别平行地配置的三个以上的磁检测部以及相对于上述基板平面分别平行地配置的第一聚磁部至第三聚磁部,上述第一聚磁部至上述第三聚磁部配置成在沿上述第二聚磁部的长边方向输入磁场时,从上述第二聚磁部至上述第一聚磁部形成磁通分量的磁路以及从上述第二聚磁部至上述第三聚磁部形成磁通分量的磁路,上述三个以上的磁检测部具备一方的磁检测部群和另一方的磁检测部群,该一方的磁检测部群配置在上述第二聚磁部与上述第一聚磁部之间,该另一方的磁检测部群配置在上述第二聚磁部与上述第三聚磁部之间。
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