[发明专利]高纯度四氯化硅的提纯方法

摘要

本发明涉及一种使用精馏塔来提纯高纯度四氯化硅的方法，其中所述精馏塔的塔板数或填料高度根据关键杂质的选择来确定。

主权项

一种高纯度四氯化硅的提纯方法，包括以下步骤：a.将四氯化硅粗料加热后输送至第一精馏塔，塔顶馏分经第一水冷换热器后一部分回流，另一部分作为低沸物组分排出；b.将含四氯化硅的塔釜液从第一精馏塔的塔底排出，一部分通过再沸器回流至第一精馏塔底部，另一部分进入第二精馏塔；c.将第二精馏塔的塔釜液从塔底排出，一部分通过再沸器回流至第二精馏塔，另一部分作为高沸物组分排出；和d.第二精馏塔的塔顶馏分经第二水冷换热器后一部分回流，另一部分采出得到纯度不低于99.9999％的高纯度四氯化硅,其中第一精馏塔和第二精馏塔的实际塔板数/填料高度通过以下方式确定：(1)根据高纯度四氯化硅的用途以及四氯化硅粗料中杂质的含量，确定四氯化硅产品中的关键杂质；(2)根据以下公式计算相对挥发度α：α＝重组分的饱和蒸汽压/轻组分的饱和蒸汽压其中，关键杂质和四氯化硅相比，沸点较低的为轻组分，沸点较高的为重组分；(3)根据αn＝ω/ω0计算理论塔板数n，其中ω0是关键杂质的最初含量，ω是关键杂质的最终要求含量；(4)根据N＝n/b计算板式塔的实际塔板数，其中b是塔板效率；或根据M＝n*c计算填料塔的填料高度M，其中c是等板高度。