[发明专利]半导体物理量传感器装置

摘要

本发明提供能够使输出特性的非线性降低的半导体物理量传感器装置。传感器部和特性校正电路的高电位侧与电源端子之间通过第一电源布线、第三电源布线连接。放大电路和基准电压电路的高电位侧与电源端子之间通过第二电源布线、第四电源布线连接。传感器部、放大电路、特性校正电路和基准电压电路的低电位侧连接到接地端子。在第三电源布线上连接有CR滤波器。在第四电源布线上连接有第一电阻。在输出端子与接地端子之间连接有第二电阻。放大电路为推挽输出型运算放大器。以抵消传感器部的输出特性的非线性的方式设定使放大电路的输出特性为相反特性的非线性的第一电阻的电阻值。

主权项

一种半导体物理量传感器装置，其特征在于，具备：传感器元件，其生成与检测到的物理量相应的电信号；推挽输出型的放大电路，其将由所述传感器元件生成的电信号放大；电源端子，其提供电源电位；接地端子，其提供接地电位；输出端子，其将由所述放大电路放大的电信号向外部输出；第一电源布线，其将所述电源端子与所述传感器元件之间进行连接；第二电源布线，其将所述电源端子与所述放大电路之间进行连接；接地布线，其将所述接地端子与所述传感器元件以及所述放大电路的低电位侧之间进行连接；电磁噪声对策滤波电路，其连接在所述第一电源布线上，并由电阻单元和电容单元构成；第一电阻，其连接在所述第二电源布线上；第二电阻，其连接在所述输出端子与所述接地端子之间。