[发明专利]一种缺陷检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种缺陷检测装置及方法，该装置包括照明模块，包括沿光路依次设置的光源、扩束准直单元、偏振单元和反射镜；成像模块，包括位置与所述反射镜对应的分束棱镜、设于所述分束棱镜和待测物之间的成像物镜单元、依次设于所述分束棱镜远离所述成像物镜单元一侧的成像镜组和检偏单元，所述成像物镜单元包括若干普通物镜和DIC物镜；探测单元，设于检偏单元远离所述成像镜组的一侧，用于将图像信号转化为数字信号进行缺陷检测；本发明集金相探测和DIC探测为一体，根据待测物的特性选择对应的探测方式，提高了对透明薄膜的识别能力和检测能力，在切换探测方式时无需重新调整焦面位置，操作方便，简化了光路结构，提高了缺陷的检出率。

主权项

一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：照明模块，包括沿光路依次设置的光源、扩束准直单元、偏振单元和反射镜；成像模块，包括位置与所述反射镜对应的分束棱镜、设于所述分束棱镜和待测物之间的成像物镜单元、依次设于所述分束棱镜远离所述成像物镜单元一侧的成像镜组和检偏单元，所述成像物镜单元包括若干普通物镜和DIC物镜；探测单元，设于所述检偏单元远离所述成像镜组的一侧，用于将图像信号转化为数字信号进行缺陷检测；所述照明模块提供的辐射光线经所述成像模块中的分束棱镜和成像物镜单元投射到待测物上，反射光线经过所述成像模块进行成像，最终投射至探测单元。