[发明专利]测试设备及测试方法有效
| 申请号： | 201610489129.2 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN107544010B | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 崔嘉;鲁巧云;张冠杰;高静 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种测试设备及测试方法。所述测试设备包括预修剪模块，用于对一待修剪产品进行第一次参数检测，获得检测结果；数据分析模块，用于对所述检测结果进行分析，获得分析结果；反馈模块，用于依据分析结果作出反馈动作。在进行测试时，由于提供数据分析模块对检测结果进行分析，获悉这一检测结果是否正常，再进行后续动作，能够有效避免由于测试问题(例如设备异常，规格范围过大等)所导致后续修剪错误，避免报废，降低了损失，提高了良率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种测试设备，其特征在于，包括：预修剪模块，用于对一待修剪产品进行第一次参数检测，获得检测结果；数据分析模块，用于对所述检测结果进行分析，获得分析结果；反馈模块，用于依据分析结果作出反馈动作。
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