[发明专利]具有由准静态压电致动可倾斜的结构的微机械设备有效
| 申请号： | 201610487301.0 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN106842553B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | D·朱斯蒂;R·卡尔米纳蒂;M·默利 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03B21/00;B81B5/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;杨立 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 微机械设备包括能够围绕第一旋转轴线旋转的可倾斜结构。可倾斜结构通过压电型的致动结构被耦合到固定结构。致动结构由具有螺旋形状的弹簧元件形成。每个弹簧元件包括横向于第一旋转轴线延伸的致动臂。每个致动臂承载压电材料的相应压电带。致动臂被分开为两组，使得其压电带处于相反相位而被偏压以获得在围绕第一旋转轴线的可倾斜结构的相反方向中的旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 静态 压电 致动可 倾斜 结构 微机 设备 | ||
【主权项】：
1.一种微机械设备，包括：能够围绕第一旋转轴线旋转的可倾斜结构；固定结构；以及在所述可倾斜结构与所述固定结构之间耦合的压电类型的致动结构，其中所述致动结构包括具有螺旋形状的弹簧元件，其中所述弹簧元件包括：相对于所述第一旋转轴线横向地延伸的多个致动臂，以及在所述致动臂中的每个致动臂上承载的压电材料的压电带。
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