[发明专利]具有由准静态压电致动可倾斜的结构的微机械设备

权利要求书

1.一种微机械设备，包括：

能够围绕第一旋转轴线旋转的可倾斜结构；

固定结构；以及

在所述可倾斜结构与所述固定结构之间耦合的压电类型的致动结构，

其中所述致动结构包括具有螺旋形状的弹簧元件，

其中所述弹簧元件包括：

相对于所述第一旋转轴线横向地延伸的多个致动臂，以及

在所述致动臂中的每个致动臂上承载的压电材料的压电带。

2.根据权利要求1所述的微机械设备，其中所述多个致动臂与彼此平行地、并且与所述第一旋转轴线垂直地延伸。

3.根据权利要求1所述的微机械设备，其中所述多个致动臂在所述螺旋形状被锚固到所述固定结构的第一端与所述螺旋形状被锚固到所述可倾斜结构的第二端之间与彼此串联地耦合。

4.根据权利要求3所述的微机械设备，其中所述螺旋形状的所述第一端是内端并且所述螺旋形状的所述第二端是外端。

5.根据权利要求1所述的微机械设备，其中所述弹簧元件具有与所述第一旋转轴线垂直的正中面，并且所述多个致动臂包括第一组致动臂和第二组致动臂，所述第一组致动臂被布置在相对于所述正中面的第一侧并且所述第二组致动臂被布置在相对于所述正中面的相反侧。

6.根据权利要求5所述的微机械设备，其中在所述第一组致动臂的所述致动臂上承载的所述压电带被电气耦合到彼此并且耦合到第一电压源，并且其中在所述第二组致动臂的所述致动臂上承载的所述压电带被电气耦合到彼此并且耦合到第二电压源。

7.根据权利要求6所述的微机械设备，其中所述第一电压源和所述第二电压源被配置为处于相反相位而被驱动。

8.根据权利要求1所述的微机械设备，其中所述弹簧元件是在所述可倾斜结构的第一侧上布置的第一弹簧元件，所述设备进一步包括在所述可倾斜结构的相反侧上布置的第二弹簧元件。

9.根据权利要求1所述的微机械设备，其中所述可倾斜结构包括通过弹性悬挂结构由框架承载的悬挂平台，所述弹性悬挂结构被配置为使得所述悬挂平台能够围绕与所述第一旋转轴线垂直的第二旋转轴线旋转。

10.根据权利要求1所述的微机械设备，其中所述可倾斜结构被悬挂在限定所述固定结构的半导体材料的本体中形成的腔体上，所述腔体由底壁并且由侧壁划界，并且所述弹簧元件被锚固到所述底壁。

11.根据权利要求1所述的微机械设备，其中所述可倾斜结构包括反射表面。

12.一种用于与便携电子装置使用的微型投影机，包括：

光源，所述光源被配置为根据待被生成的图像来生成光束；

微机械设备，包括：

能够围绕第一旋转轴线旋转的可倾斜结构；

固定结构；以及

在所述可倾斜结构与所述固定结构之间耦合的压电类型的致动结构，

其中所述致动结构包括具有螺旋形状的弹簧元件；以及

驱动电路，所述驱动电路被配置为供应驱动信号来旋转所述可倾斜结构，

其中所述弹簧元件包括：

相对于所述第一旋转轴线横向地延伸的多个致动臂，以及

在所述致动臂中的每个致动臂上承载的压电材料的压电带；

其中所述驱动信号被施加到所述致动臂上的所述压电带。

13.根据权利要求12所述的微型投影机，其中所述多个致动臂在所述螺旋形状被锚固到所述固定结构的第一端与所述螺旋形状被锚固到所述可倾斜结构的第二端之间与彼此串联地耦合。

14.根据权利要求13所述的微型投影机，其中所述固定结构包括在半导体材料的本体中形成的腔体，所述腔体由底壁并且由侧壁划界，并且所述螺旋形状的所述第一端被锚固到所述底壁。