[发明专利]一种具有地室支柱的薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 201610378813.3 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN106656094A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陈培杕;肖功亚;周宗闽;施旭霞;朱珺 | 申请（专利权）人： | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10;H03H9/17 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司33214 | 代理人： | 王晓峰 |
| 地址： | 313200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及射频滤波器技术领域，具体涉及一种具有地室支柱的薄膜体声波谐振器，其三明治谐振腔位于高阻衬底表面形成的地室上方，其特征是在地室中设置有多根支柱以提高三明治谐振腔机械性能。支柱位于三明治谐振腔声振幅最小处，可降低地室支柱对器件性能的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 支柱 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
一种具有地室支柱的薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括具有地室的高阻衬底、由上金属电极和下金属电极夹持压电体组成的三明治谐振腔，三明治谐振腔置于高阻衬底表面形成的地室上方，所述压电体为压电薄膜，在地室内设有若干根支柱；地室内的这些支柱位于三明治谐振腔声振幅最小处。
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