[发明专利]一种氧化锌/氮化镓复合薄膜制备方法有效
| 申请号： | 201610377095.8 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN106086795B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 咸冯林;徐林华;郑改革;匡文剑;李金花;曹兆楼;裴世鑫;赖敏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/06;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 210019 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，采用脉冲激光沉积法低温下制备氧化锌/氮化镓复合薄膜，不仅拓展了ZnO‑GaN复合材料的制备方法，可以实现高于600nm的可见光吸收，而且和粉体相比，在衬底上制备的ZnO/GaN复合薄膜更易于重复利用。本发明所制备薄膜粒径分布均匀，具有明显的可见光响应，带隙达到1.6eV。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 氮化 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，其特征在于，采用脉冲激光沉积法制备，靶材采用高纯的氧化锌和氮化镓，分别装载在相距30度角的靶材托盘上，靶材和衬底之间的距离保持在7cm，具体包括如下几个步骤：1)衬底清洗，用氮气吹干后放入真空腔，2)采用机械泵和分子泵的抽真空使得沉积室的真空度达到5×10‑7Torr，通入高纯氮气，气体流量为30sccm，静置一段时间使得沉积室内的真空度稳定为1.2×10‑2Torr，3)预沉积，衬底采用分隔板遮挡，用激光对氧化锌和氮化镓靶材进行预轰击，4)激光先轰击氧化锌靶材25次，然后转换到氮化镓靶材轰击25次，如此为一个循环，重复循环300次，5)通入高纯氮气冷却后得到氧化锌/氮化镓复合薄膜。
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