[发明专利]一种双面叉指电极、其加工方法及应用在审
申请号: | 201610365590.7 | 申请日: | 2016-05-28 |
公开(公告)号: | CN106017515A | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 黄兴桥;崔皓博 | 申请(专利权)人: | 惠州市力道电子材料有限公司 |
主分类号: | G01D5/12 | 分类号: | G01D5/12 |
代理公司: | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人: | 鲁慧波 |
地址: | 516000 广东省惠*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种双面叉指电极,该叉指电极设有基板,所述基板表面依次设有缓冲层和导电层;所述基板中设有通孔,通孔是通过沿基板厚度方向贯穿打孔形成的,通孔的上下两个孔口的面积不相等;所述基板由金属或非金属材质的材料中的任一种组成;所属导电层为金属层。 | ||
搜索关键词: | 一种 双面 电极 加工 方法 应用 | ||
【主权项】:
一种双面叉指电极,其特征在于,该叉指电极设有基板(1),所述基板表面依次设有缓冲层(2)和导电层(3);所述基板中设有通孔(11),通孔是通过沿基板厚度方向贯穿打孔形成的,通孔的上下两个孔口的面积不相等;所述基板由金属或非金属材质的材料中的任一种组成;所属导电层为金属层。
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