[发明专利]双喷减薄制备TEM样品的方法

摘要

本发明公开双喷减薄制备TEM样品的方法，在金相细砂纸上将样品磨至厚度为50um‑70um；在双喷电解减薄器的电解槽中添加电解液，使用液氮对电解槽进行降温，将装有铝合金金属小圆片的样品夹插到电解槽的中央位置；合上总电源开关，调节电解电压旋钮，使电压稳定在U1，喷射泵旋钮逆时针到底，出现一个对应的电流I1，在逆时针旋转到底后立即顺时针旋转喷射泵旋钮到底，并同时调节电压旋钮，使得到的电流I2与之前电流I1相差40—60mA，并稳定此时的电流I2和电压，对样品进行减薄，至穿孔报警声响。本发明实现样品的中心穿孔，减薄区域更大，提高薄膜样品的质量，使薄区厚度更薄，薄区更大，提高透射电镜图片的质量。

主权项

双喷减薄制备TEM样品的方法，其特征在于，按照下述步骤进行：步骤1，在金相细砂纸上将样品磨至厚度为50um‑70um；步骤2，在双喷电解减薄器的电解槽中添加电解液，电解液有体积百分数30％的硝酸和体积百分数70％的无水甲醇组成，调节双喷电解减薄器的喷射泵喷射速度，以使双喷嘴射出的相向电解液相接触；步骤3，使用液氮对电解槽进行降温，降至‑20—‑30℃之间，将装有铝合金金属小圆片的样品夹插到电解槽的中央位置；步骤4，合上总电源开关，调节电解电压旋钮，使电压稳定在U1，喷射泵旋钮逆时针到底，此时出现一个对应的电流I1，在逆时针旋转到底后立即顺时针旋转喷射泵旋钮到底，并同时调节电压旋钮，使新得到的电流I2与之前电流I1相差40—60mA，并稳定此时的电流I2和电压，对样品进行减薄，至穿孔报警声响，立刻关闭总电源。