[发明专利]旋转靶六角轴机构

摘要

本发明公开了一种旋转靶六角轴机构，配设于旋转靶驱动装置内，以驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；旋转靶驱动装置包括支撑座；旋转靶六角轴机构包括六角驱动轴和磁钢支撑轴，六角驱动轴插接于支撑座内，磁钢支撑轴设置于六角驱动轴内；磁钢支撑轴的一端伸入六角驱动轴的中心轴孔内，磁钢支撑轴的另一端伸出六角驱动轴的中心轴孔以连接旋转靶；磁钢支撑轴伸入六角驱动轴的中心轴孔，且伸入六角驱动轴中心轴孔的部分磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与六角驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。通过改善旋转靶六角轴机构的内部结构，减少磁钢支撑轴变形的情况，避免定位不稳的旋转靶内的磁钢和靶筒发生磁撞磨擦的情况。

主权项

一种旋转靶六角轴机构，配设于旋转靶驱动装置内，以驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；其特征在于：所述旋转靶驱动装置包括支撑座；所述旋转靶六角轴机构包括六角驱动轴和磁钢支撑轴，所述六角驱动轴插接于所述支撑座内，所述磁钢支撑轴设置于所述六角驱动轴内；所述磁钢支撑轴的一端伸入所述六角驱动轴的中心轴孔内，所述磁钢支撑轴的另一端伸出所述六角驱动轴的中心轴孔以连接所述旋转靶；所述磁钢支撑轴轴向长度的3/4以上伸入所述六角驱动轴的中心轴孔，且伸入所述六角驱动轴中心轴孔的部分所述磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与所述六角驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。