[发明专利]旋转靶驱动装置有效
| 申请号： | 201610357014.8 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105821389A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 谢守荣;余华骏;叶光岱;陈游;黄颖 | 申请（专利权）人： | 东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523141 广东省东莞市麻涌镇新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转靶驱动装置，适用于磁控溅射镀膜设备，用于驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；旋转靶驱动装置包括支撑座、插接于支撑座的驱动轴、及设置于驱动轴内的磁钢支撑轴；磁钢支撑轴的一端伸入驱动轴的中心轴孔内，磁钢支撑轴的另一端伸出驱动轴的中心轴孔以连接旋转靶；磁钢支撑轴伸入驱动轴的中心轴孔，且伸入驱动轴中心轴孔的部分磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。根据本发明提供的旋转靶驱动装置，通过改善旋转靶驱动装置的内部结构，减少磁钢支撑轴变形的情况，从而避免定位不稳的旋转靶内的磁钢和靶筒发生磁撞磨擦的情况，避免旋转靶及其旋转靶驱动装置受损。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 驱动 装置 | ||
【主权项】：
一种旋转靶驱动装置，适用于磁控溅射镀膜设备，用于驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；其特征在于：所述旋转靶驱动装置包括支撑座、插接于所述支撑座的驱动轴、及设置于所述驱动轴内的磁钢支撑轴；所述磁钢支撑轴的一端伸入所述驱动轴的中心轴孔内，所述磁钢支撑轴的另一端伸出所述驱动轴的中心轴孔以连接所述旋转靶；所述磁钢支撑轴轴向长度的3/4以上伸入所述驱动轴的中心轴孔，且伸入所述驱动轴中心轴孔的部分所述磁钢支撑轴沿轴向的两端侧与所述驱动轴中心轴孔的内壁之间分别设置有支撑轴承件。
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