[发明专利]使用多个电感和电容设备来施用多种等离子体条件以确定匹配网络模型的系统和方法有效
| 申请号： | 201610334670.6 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN106169409B | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 亚瑟·M·霍瓦尔德;约翰·C·小瓦尔考 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 李献忠,张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了使用多个电感和电容设备来施用多种等离子体条件以确定匹配网络模型的系统和方法，描述了用于使用多个电感和电容设备以施用多种等离子体条件以确定匹配网络模型的固定参数的系统和方法。多个设备模拟多种等离子体条件，而不占用其中晶片置于等离子体室中的工具时间，以产生匹配网络模型的固定参数。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 电感 电容 设备 施用 多种 等离子体 条件 确定 匹配 网络 模型 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于使用多个设备来施用多种等离子体条件以确定匹配网络模型的固定参数的方法，其包括：接收在第一设备的输入端测量的第一输出阻抗；接收在阻抗匹配网络的输入端测量的第一输入阻抗，其中，在所述阻抗匹配网络的输出端连接到所述第一设备的输入端时测量所述第一输入阻抗；接收在第二设备的输入端测量的第二输出阻抗；接收在所述阻抗匹配网络的输入端测量的第二输入阻抗，其中，当所述阻抗匹配网络的输出端连接到所述第二设备的输入端时，测量所述第二输入阻抗；在匹配网络模型的输出端施用第一测量的输出阻抗，以当所述匹配网络模型被分配第一频率、第一可变电容、第一固定电感、第一固定电容和第一固定电阻时计算在所述匹配网络模型的输入端的第一预测的输入阻抗；在所述匹配网络模型的输出端施用第二测量的输出阻抗，以当所述匹配网络模型被分配第二频率、第二可变电容、所述第一固定电感、所述第一固定电容和所述第一固定电阻时计算在所述匹配网络模型的输入端的第二预测的输入阻抗；判定所述第一预测的输入阻抗是否在离第一测量的输入阻抗的预先确定的范围内以及所述第二预测的输入阻抗是否在离第二测量的输入阻抗的预先确定的范围内；以及在确定所述第一预测的输入阻抗在离所述第一测量的输入阻抗的预先确定的范围内以及所述第二预测的输入阻抗在离所述第二测量的输入阻抗的预先确定的范围内时，分配所述第一固定电感、所述第一固定电容和所述第一固定电阻至所述匹配网络模型。
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