[发明专利]利用改良成像气体的电子束显微镜及使用方法有效
| 申请号： | 201610324843.6 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN106169406B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | T.尚利;J.斯科特;M.托思 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 赵胜宝;徐厚才 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明利用用改良的成像气体的气体放大提供带电粒子束成像和检测系统。系统包括用于引导带电荷粒子束到工件的带电粒子束源、用于带电粒子聚焦到工件上的聚焦透镜和用于加速通过带电粒子束或另一种气体级联检测方案从工件照射产生的二次电子的电极。气体成像在用于封闭包含CH3CH2OH(乙醇)蒸气的改良成像气体的高压扫描电子显微镜(HPSEM)室中进行。电极通过CH3CH2OH加速二次电子，以通过电离级联电离CH3CH2OH，增大用于检测的二次电子的数目。为使用改良成像气体提供最优结构，并提供技术进行有机液体和溶剂及其它基于CH3CH2OH的方法的成像研究。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 改良 成像 气体 电子束 显微镜 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成工件的带电粒子束图像的方法，所述方法包括：在工件表面上扫描带电粒子束，所述带电粒子束引起二次电子发射，以沿着扫描在多个点产生二次电子信号；由通过包含CH3CH2OH的区域加速二次电子，二次电子引发CH3CH2OH的电离级联来放大二次电子信号；检测放大的成像信号；和从放大的成像信号形成工件图像。
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