[发明专利]一种用于激光波前检测的低频外差干涉仪在审
| 申请号： | 201610237106.2 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105784129A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 张文喜;李杨;相里斌;伍洲;孔新新;吕笑宇;刘志刚;郭晓丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;郑哲 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于激光波前检测的低频外差干涉仪，其采用声光移频器外差点衍射干涉系统，极大地提高了空间分辨率，能够探测激光波前中的高频误差，同时增大测量的动态范围。此外，采用声光移频器进行相移，不存在机械移动，系统同时具有一定的抗震动、气流干扰的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 检测 低频 外差 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种用于激光波前检测的低频外差干涉仪，其特征在于，包括：待测激光源、两个半波片、偏振分光镜PBS、两个反射镜、两个声光移频器、聚焦镜、滤波孔、准直镜、分光棱镜BS、扩束镜与探测器；其中：待测激光源出射的经过半波片1后射入PBS，由PBS将激光分为两束；其中一束激光依次经过半波片2、反射镜1、声光移频器1、声光移频器2、聚焦镜、滤波孔与准直镜后作为参考光射入BS；另一束激光作为待测光经过反射镜2后射入BS；通过BS将参考光与待测光合束干涉，并经过扩束镜扩束后射入探测器。
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