[发明专利]一种测量材料单质气体放气率的装置及方法有效

专利信息
申请号: 201610229195.6 申请日: 2016-04-13
公开(公告)号: CN105910953B 公开(公告)日: 2018-10-23
发明(设计)人: 董猛;李得天;成永军;郭美如;赵澜;盛学民;习振华;张虎忠 申请(专利权)人: 兰州空间技术物理研究所
主分类号: G01N7/16 分类号: G01N7/16
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 代丽;仇蕾安
地址: 730000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 发明公开了一种测量材料各单质气体放气率的装置及测量方法。使用本发明能够对材料放出的气体组分进行测量,获得材料放出的各单质气体的放气率大小以及材料总放气率的大小,且测量装置结构简单,测量范围宽,测量不确定度小。本发明采用的测量装置,仅采用样品室、上游室、测试室、抽真空系统、标准漏孔、质谱计以及真空计,即可完成固体材料单质气体放气率的测量。采用静态定容升压和动态连续抽气结合的方法,能够克服测量过程中气体吸附给材料放气测量带来的影响,测量准确度高,测量不确定度小,且测量范围宽,可将材料放气率的测量下限延伸至10‑15Pam3s‑1cm‑2的量级。
搜索关键词: 一种 测量 材料 单质 气体 放气 装置 方法
【主权项】:
1.一种测量材料各单质气体放气率的装置,包括测试室(2)、样品室(15)、抽气系统A和抽气系统B,其中,测试样品(14)放置在样品室(15)内,抽气系统A与测试室(2)连接,抽气系统B与样品室(15)连接,其特征在于,所述装置还包括上游室(4)、标准漏孔(6)和定容器(10)、;其中,上游室(4)通过限流小孔(3)与测试室(2)连通,标准漏孔(6)通过微调阀A(7)与上游室(4)连接,定容器(10)通过微调阀B(9)与上游室(4)连接,样品室(15)与定容器(10)连接;样品室(15)还接有质谱计(1)和分离规B(8);上游室(4)设有分离规A(5);样品室(15)设有分离规C(12)。
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