[发明专利]基板处理系统

摘要

本发明提供一种基板处理系统。该基板处理系统在对正面朝上的基板和背面朝上的基板这两者进行处理的情况下，能够抑制基板的正面和背面的状态管理的复杂化。实施方式所涉及的基板处理系统具备第一处理块、第二处理块以及翻转机构。第一处理块包括：第一处理单元，其在基板的第一面朝上的状态下进行基板的处理；以及第一输送装置，其针对第一处理单元进行基板的搬入和搬出。第二处理块包括：第二处理单元，其在基板的与第一面相反一侧的面即第二面朝上的状态下进行基板的处理；以及第二输送装置，其针对第二处理单元进行基板的搬入和搬出。翻转机构配置在从第一处理块向第二处理块的基板的输送路径的中途，用于使基板翻转。

主权项

一种基板处理系统，其特征在于，具备：第一处理块，其包括第一处理单元和第一输送装置，其中，该第一处理单元在基板的第一面朝上的状态下进行所述基板的处理，该第一输送装置针对所述第一处理单元进行所述基板的搬入和搬出；第二处理块，其包括第二处理单元和第二输送装置，其中，该第二处理单元在所述基板的与所述第一面相反一侧的面即第二面朝上的状态下进行所述基板的处理，该第二输送装置针对所述第二处理单元进行所述基板的搬入和搬出；以及翻转机构，其配置在从所述第一处理块向所述第二处理块的所述基板的输送路径的中途，用于使所述基板翻转。