[发明专利]压印装置和方法、材料分配数据创建方法及物品制造方法在审
| 申请号： | 201610195961.1 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106019824A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 船吉智美;山崎拓郎;藤本正敬;山口裕充 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 这里提供了一种压印装置，所述压印装置通过使用模具和压印材料而顺序地在基体的多个区域上形成图案。所述装置包括：运动单元，所述运动单元构造成可在承载基体的同时沿水平平面运动，压印材料提供于所述基体上；以及施加单元，所述施加单元构造成根据与压印材料的状态相关的信息和与图案形成顺序相关的信息而将压印材料施加于基体上，与压印材料的状态相关的信息随着运动单元的运动而变化。还提供了一种当通过使用模具和压印材料在基体上形成图案时创建施加在基体上的压印材料的分配数据的创建方法、压印方法和物品制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 方法 材料 分配 数据 创建 物品 制造 | ||
【主权项】：
一种压印装置，所述压印装置通过使用模具和压印材料而顺序地在基体的多个区域上形成图案，所述装置包括：运动单元，所述运动单元构造成能够在承载基体的同时沿水平平面运动，压印材料提供于所述基体上；以及施加单元，所述施加单元构造成根据与压印材料的状态相关的信息和与图案形成顺序相关的信息而将压印材料施加于基体上，与压印材料的状态相关的信息随着运动单元的运动而变化。
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