[发明专利]一种强韧耐磨涂层及其制备方法

摘要

本发明提供一种强韧耐磨涂层，所述强韧耐磨涂层的化学式为V‑X‑C‑N，其中X为Al、Si中的至少一种，所述强韧耐磨涂层中包括sp²非晶碳以及立方V(C,N)相结构，所述sp²非晶碳包裹所述立方V(C,N)相结构。由于所述强韧耐磨涂层中包括sp²非晶碳，sp²非晶碳可作为软质相，这有利于降低涂层应力，增强韧性，并且sp²非晶碳在摩擦过程中可提供润滑相，因而可提高涂层的耐磨特性。本发明还提供一种强韧耐磨涂层的制备方法。

主权项

1.一种强韧耐磨涂层，其特征在于，所述强韧耐磨涂层的化学式为V‑X‑C‑N，其中X为Si或者Al、Si的组合，所述强韧耐磨涂层中包括非晶Si3N4、sp2非晶碳以及立方V(C,N)相结构，所述非晶Si3N4与sp2非晶碳复合形成复合物，该复合物包裹所述立方V(C,N)相结构；所述强韧耐磨涂层通过以下制备方法制得：(1)提供基底，对该基底进行清洗；(2)以复合靶为沉积靶材，N2为反应气体，在氩气和氮气的混合气氛下采用磁控溅射法在所述基底的表面沉积得到强韧耐磨涂层，其中，所述复合靶为V‑Si‑C或V‑Al‑Si‑C。