[发明专利]压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法

摘要

本发明提供一种相对于施加电压的位移的线性度优异且位移特性优异的压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法。一种压电元件，具备：第一电极(60)，其形成在基板(10)上；压电体层(70)，其形成在上述第一电极(60)上，并且包含由下述公式(1)表示的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物；以及第二电极(80)，其形成在上述压电体层(70)上，在上述第一电极与上述压电体层之间具备种子层(65)，该种子层包含含有K以及Nb的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物，上述压电体层由在(110)面优先取向的多晶构成，(KX，Na1﹣X)NbO3…(1)。

主权项

一种压电元件，其特征在于，具备：第一电极，其形成在基板上；压电体层，其形成在所述第一电极上，并且包含由下述公式(1)表示的ABO₃型钙钛矿结构的复合氧化物；以及第二电极，其形成在所述压电体层上，在所述第一电极与所述压电体层之间具备种子层，所述种子层包含含有K以及Nb的ABO₃型钙钛矿结构的复合氧化物，所述压电体层由在(110)面优先取向的多晶构成，(K_X，Na_1﹣X)NbO₃…(1)。