[发明专利]一种MEMS微型固态锂离子电池及其制备方法有效
| 申请号： | 201610128735.1 | 申请日： | 2016-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN107170958B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 黄晓东;甘兴锋;黄见秋;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01M4/134 | 分类号： | H01M4/134;H01M10/0525;H01M4/1395;H01M10/058;B81B3/00;B81C1/00;B81C99/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 吴旭 |
| 地址： | 214135 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS微型固态锂离子电池及其制备方法。通过将锂电池整理设置为MEMS悬臂梁结构，硅负极层在电池充放电时的体积变化引起MEMS悬臂梁结构发生弯曲变形，有效释放和减小了由于硅体积变化在硅负极层内所引起的应力，降低了应力对硅负极层的损伤和破坏。本发明提供的MEMS微型固态锂离子电池具有尺寸小、结构简单、制作成本低、可靠性高、寿命长、能量密度高且具备在线检测功能等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 微型 固态 锂离子电池 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS微型固态锂离子电池，其特征在于：包括基底（1），所述基底（1）为L型悬臂梁结构，分为横向自由面和纵向支撑部；在所述基底（1）上从下向上依次设置绝缘层（3）、正极集流体层（4）、正极层（5）、固态电解质层（6）、硅负极层（7）、负极集流体层（8）；其中，所述硅负极层（7）正对基底（1）的横向自由面设置，基底（1）的纵向支撑部正对位置没有设置硅负极层，所述硅负极层（7）为厚度100 ‑ 3000 nm的硅；在所述基底（1）的横向自由面和纵向支撑部的连接处设置敏感电阻（2）。
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