[发明专利]一种用于金刚砂线切割硅片的水性切割液有效
| 申请号： | 201610109581.1 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN105713714B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张小飞 | 申请（专利权）人： | 常州高特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N30/06;C10N30/12 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于硅晶体切割技术领域，尤其涉及一种用于金刚砂线切割硅片的水性切割液。水性切割液的组分包括极压剂、表面活性剂、消泡剂、酯类油性剂、丁苯橡胶乳液粘合剂和去离子水，该配方的水性切割液在具有优异的润滑、冷却、防腐、防锈、抗极压功能的基础上，制备方法工艺简单、条件易控、成本低廉、对设备要求低，适于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金刚砂 切割 硅片 水性 | ||
【主权项】：
1.一种用于金刚砂线切割硅片的水性切割液，其特征在于：所述的水性切割液的组分包括极压剂、表面活性剂、消泡剂、酯类油性剂、丁苯橡胶乳液粘合剂、去离子水；其中，所述水性切割液按重量份数计算，包括以下各组分，![]()
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