[发明专利]磁芯、电感器和制造磁芯的方法有效
| 申请号： | 201610104389.3 | 申请日： | 2016-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN105932013B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 苏彦硕;郭俊聪;卢玠甫 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 磁芯包括具有基本均匀厚度的中心部分和连接至中心部分并且围绕中心部分的边缘部分。边缘部分包括底部和设置在底部上的顶部，其中，底部具有平缓的侧表面，而顶部具有陡的侧表面。磁芯的轮廓可以更像矩形，从而提供更好的电感器性能。本发明的实施例还涉及磁芯、电感器和制造磁芯的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 磁芯 电感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造磁芯的方法，包括：在介电层上形成磁层；在所述磁层上形成第一光刻胶层并且图案化所述第一光刻胶层；蚀刻所述磁层，其中，在蚀刻所述磁层之后，暴露于所述第一光刻胶层之外的所述磁层的部分覆盖所述介电层；去除所述第一光刻胶层；在所述磁层上形成第二光刻胶层并且图案化所述第二光刻胶层；蚀刻所述磁层；以及去除所述第二光刻胶层。
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