[发明专利]曝光机有效
| 申请号： | 201610060705.1 | 申请日： | 2016-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN105549334B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 王轩 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种曝光机，其包括数个搬运模块，所述搬运模块包括导轨、连接于所述导轨侧面的滑动载台、及设于所述导轨与滑动载台下方的灰尘收集室；所述滑动载台可在所述导轨中往复滑动；所述灰尘收集室的边缘设有伸出于导轨侧面的灰尘收集口；所述灰尘收集口的开口向上并朝向所述导轨与滑动载台的连接处，从而使所述滑动载台在导轨中滑动的过程中所产生的灰尘落入灰尘收集口而被收集至所述灰尘收集室中；所述灰尘收集室可与真空负压装置相连接，从而通过真空负压装置吸取滑动载台在导轨中往复滑动的过程中所产生的灰尘；有效改善曝光制程的操作环境，提升曝光制程的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 | ||
【主权项】：
一种曝光机，其特征在于，包括数个搬运模块，所述搬运模块包括导轨、连接于所述导轨侧面的滑动载台、及设于所述导轨与滑动载台下方的灰尘收集室；所述滑动载台能在所述导轨中往复滑动；所述灰尘收集室的边缘设有伸出于导轨侧面的灰尘收集口；所述灰尘收集口的开口向上并朝向所述导轨与滑动载台的连接处，从而使所述滑动载台在导轨中滑动的过程中所产生的灰尘落入所述灰尘收集口而被收集至所述灰尘收集室中。
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