[发明专利]用于形成浸液膜的设备和方法在审
申请号: | 201610041475.4 | 申请日: | 2016-01-21 |
公开(公告)号: | CN105807416A | 公开(公告)日: | 2016-07-27 |
发明(设计)人: | H·赫尔曼;R·维斯彻内夫斯基 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
主分类号: | G02B21/33 | 分类号: | G02B21/33;G02B21/24;G02B27/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 刘丹;吴鹏 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于在显微镜的试样载体(2)与物镜(1)之间形成浸液膜的设备和方法,该设备包括自动浸润模块(3),该自动浸润模块用于将浸液从浸液存储器(8)输送到位于试样载体或工作台上的施加位置,所述自动浸润模块包括具有喷嘴(5)的喷射装置(4),该喷射装置与用于产生浸液束(IMS)的泵(9)相连接。在此,通过自动浸润模块(3)以确定的速度将经计量的浸液束(IMS)喷射到位于试样载体(2)或工作台位置上的施加位置处。 | ||
搜索关键词: | 用于 形成 浸液 设备 方法 | ||
【主权项】:
用于在显微镜的试样载体(2)与物镜(1)之间形成浸液膜的设备,该设备包括自动浸润模块(3),该自动浸润模块用于将浸液从浸液存储器(8)输送到位于试样载体或工作台上的施加位置,所述自动浸润模块包括具有喷嘴(5)的喷射装置(4),该喷射装置与泵(9)相连接以用于产生浸液束(IMS)。
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