[发明专利]熔制石英玻璃的沉积炉在审
申请号: | 201610019706.1 | 申请日: | 2016-01-12 |
公开(公告)号: | CN105502898A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 孙元成;宋学富;杜秀蓉;张晓强;王慧 | 申请(专利权)人: | 中国建筑材料科学研究总院 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 100024*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明是关于一种熔制石英玻璃的沉积炉,沉积炉外壁为保温材料,内壁为耐火材料,中间夹层为电热装置或循环水冷却装置;沉积炉为分段保温式沉积炉,从上至下分为四个部分:炉体顶段,为弧形顶盖部分,夹层为电热装置;中段分为2‑5个保温段,采用电热装置辅助加热;炉体下段夹层为循环水冷却装置;炉体底部为盖板;其中,火焰与原料从所述沉积炉顶段进入;沉积基体沿其轴线作旋转运动,并在沉积过程中整体向下运动。该沉积炉顶部高温产生的热辐射使沉积面保持在较高温度,有利于提高沉积质量并扩大石英玻璃的直径;可控的侧壁温度使石英玻璃自上而下缓慢降温,有利于维持石英玻璃的形状,并且内部结构较为均匀,可合成大尺寸、高均匀性石英玻璃。 | ||
搜索关键词: | 石英玻璃 沉积 | ||
【主权项】:
1.一种熔制石英玻璃的沉积炉,其特征在于,沉积炉外壁为保温材料,内壁为耐火材料,中间夹层为电热装置或循环水冷却装置;沉积炉为分段保温式沉积炉,从上至下分为四个部分:炉体顶段,为弧形顶盖部分,夹层为电热装置;中段分为2-5个保温段,采用电热装置辅助加热,并且温度自上而下依次降低;炉体下段夹层为循环水冷却装置;炉体底部为盖板;其中,火焰与原料从所述沉积炉顶段进入;沉积基体沿其轴线作旋转运动,并在沉积过程中整体向下运动。
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