[发明专利]测量数据对制造工具位置和处理批次或时间的映射

摘要

本发明提供用于光伏产品的制造过程控制的方法和系统。一些实施方案涉及追踪用于光伏产品的晶片关于哪个制造工具处理它们和它们在该制造工具中的位置的方法。一些实施方案涉及测量和表征部分完成的光伏产品的品质关键性参数，所述部分完成的光伏产品由所讨论的制造工具产生。一些实施方案涉及所测量的参数在计算机屏幕上的显示和可视化，使得各制造单元的参数可在以下范围中直接观察：哪个制造工具处理它们、在处理期间它们位于具体制造工具内的哪个位置、和哪个批次或在连续处理的情况下何时单元被处理。

主权项

用于在光伏产品中使用的硅电池的制造期间的品质监控的方法，所述方法包括：在制造操作后测量硅晶片的特性，所述制造操作包括通过制造工具的处理；确定在处理期间在制造工具内的硅晶片的空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者；和基于硅晶片的经测量的特性提供信息的图形显示，所述信息根据空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者空间地排列在图形显示上。