[发明专利]13族元素氮化物层的分离方法及复合基板

摘要

准备出包括蓝宝石基板和设置在该蓝宝石基板上的13族元素氮化物层的复合基板。13族元素氮化物层由氮化镓、氮化铝或氮化镓铝形成。复合基板满足关系式(1)、(2)及(3)。通过自蓝宝石基板侧对复合基板照射激光来分解蓝宝石基板与13族元素氮化物层的界面的晶格键。5.0≤(13族元素氮化物层的平均厚度(μm))/所述蓝宝石基板的直径(mm)≤10.0····(1)；0.1≤所述复合基板的翘曲量(mm)×(50/所述复合基板的直径(mm))²≤0.6····(2)；1.10≤所述13族元素氮化物层的厚度的最大值(μm)/所述13族元素氮化物层的厚度的最小值(μm)····(3)。

主权项

1.一种13族元素氮化物层的分离方法，其特征在于，准备出包括蓝宝石基板和设置在该蓝宝石基板上的13族元素氮化物层的复合基板，此时，所述13族元素氮化物层由氮化镓、氮化铝或氮化镓铝形成，所述复合基板满足以下的关系式(1)、(2)及(3)，通过自所述蓝宝石基板侧对所述复合基板照射激光来分解所述蓝宝石基板与所述13族元素氮化物层的界面的晶格键，5.0≤(13族元素氮化物层的平均厚度(μm))/所述蓝宝石基板的直径(mm)≤10.0····(1)0.1≤所述复合基板的翘曲量(mm)×(50/所述复合基板的直径(mm))²≤0.6····(2)1.10≤所述13族元素氮化物层的厚度的最大值(μm)/所述13族元素氮化物层的厚度的最小值(μm)····(3)。