[发明专利]成膜装置有效
| 申请号： | 201580054834.3 | 申请日： | 2015-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN106795626B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 野泽直之;松木信雄;坂本怜士;石原雅仁 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据本发明的成膜装置具备：腔室；在所述腔室之中保持基板的保持部；以所述基板通过所述腔室之中的成膜区域的方式而使保持所述基板的所述保持部移动的驱动部；向所述成膜区域供应成膜物质从而将膜形成于正通过所述成膜区域的所述基板的成膜部；以及冷却所述保持部的冷却部。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，用于在均具有第一面及第二面的多个基板中的每个基板的所述第一面及所述第二面中的每一面上形成膜，所述成膜装置具备：腔室；保持部，所述保持部具有彼此位于相反侧上的第一夹具及第二夹具并且构成为，在所述腔室中，由所述第一夹具保持第一基板的所述第二面一侧，由所述第二夹具保持第二基板的所述第一面一侧；驱动部，用于移动保持所述基板的所述保持部，使得分别由所述第一夹具和第二夹具保持的所述第一基板和第二基板通过所述腔室中的成膜区域；第一成膜部，用于在由所述第一夹具所保持的第一基板的第一面上形成膜；第二成膜部，用于在由所述第二夹具所保持的第二基板的第二面上形成膜；操作机构，用于当在所述第一基板的第二面一侧由所述第一夹具所保持的情况下由第一成膜部在所述第一基板的第一面上形成膜之后操作所述第一基板使得所述第一基板的第一面一侧由所述第二夹具所保持；以及冷却部，用于冷却所述保持部。
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