[发明专利]吸气剂泵有效
申请号: | 201580017115.4 | 申请日: | 2015-03-25 |
公开(公告)号: | CN106133314B | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 安东尼奥·博努奇;保罗·马尼尼;安德烈亚·康特;卢卡·维亚勒 | 申请(专利权)人: | 工程吸气公司 |
主分类号: | F04B37/02 | 分类号: | F04B37/02;F04B37/14;H01J41/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 蔡胜有,苏虹 |
地址: | 意大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种吸气剂泵,包括壳体(21、21’)和安装在所述吸气剂泵壳体(21、21’)内的多个吸气剂筒(22、23、24、25),其中,所述壳体的形状为具有旋转轴(26)的旋转体,每个筒(22、23、24、25)包括线形中心支承件(221、231、241、251)和安装在所述线形中心支承件(221、231、241、251)上的间隔开的吸气剂元件,正交于旋转轴(26)并且与线形中心支承件(221、231、241、251)的中点相交的平面定义为吸气剂筒定位平面(222、232、242、252),并且由所述定位平面(222、232、242、252)相对于线形中心支承件(221、231、241、251)而形成的角(α、α’、α”、α”’)介于35°与75°之间。 | ||
搜索关键词: | 吸气 | ||
【主权项】:
一种吸气剂泵,包括壳体(21、21’;311;411),所述壳体(21、21’;311;411)的形状为具有旋转轴(26;46)的旋转体,并且包括安装在所述吸气剂泵的所述壳体(21、21’;311;411)内的多个吸气剂筒(10、100;22、23、24、25;314、315;42、43),每个吸气剂筒(10、100;22、23、24、25;314、315;42、43)包括线形中心支承件(11;221、231、241、251;421、431)和安装在所述线形中心支承件(11;221、231、241、251;421、431)上的间隔开的吸气剂元件(12、12’、…、12n),正交于所述旋转轴(26;46)并且与线形中心支承件(11;221、231、241、251;421、431)的中点相交的平面被定义为吸气剂筒的定位平面(222、232、242、252;422、432),所述吸气剂泵的特征在于,由所述定位平面(222、232、242、252;422、432)相对于所述线形中心支承件(11;221、231、241、251;421、431)形成的角(α、α’、α”、α”’;β、β’)为35°至75°。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于工程吸气公司,未经工程吸气公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201580017115.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于从对等设备获得内容的方法
- 下一篇:高频模块
- 同类专利
- 一种多工位的真空排气台-201920142586.3
- 司媛媛;刘纯;孟大伟;付宪阳 - 北京哲勤科技有限公司
- 2019-01-25 - 2019-10-01 - F04B37/02
- 本实用新型公开一种多工位的真空排气台,涉及排气台的技术领域,其包括相联通的离子泵以及真空室,还包括若干个单向阀以及真空压力计,所述真空室联通有至少两根连接管,所述连接管背离真空室的一端设置有用于连接的法兰。本实用新型具有能够对多个工位同时抽真空的效果。
- 一种大抽速结构紧凑的组合泵-201711386950.2
- 郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 - 南京华东电子真空材料有限公司
- 2017-12-20 - 2019-09-24 - F04B37/02
- 本发明是一种大抽速结构紧凑的组合泵,由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成,它包括一个或多个阳极室并联组成的用以连接高压的阳极筒,以及至少一个装在阳极室内、具有加热结构并且含有多孔吸气材料的吸气剂泵,工作时,放置在真空腔体中,将阳极筒连接至高压直流电源的阳极,将多孔吸气材料连接到高压直流电源的接地端,抽真空后通过加热元件将吸气剂泵通电激活,再在阳极筒周围加上磁场。优点:大大缩小了组合泵的体积,使得结构更为紧凑;在阳极室内的阴极溅射得更为强烈,因此具有更大的抽速;再者,多种成分的多孔吸气材料溅射出的吸气薄膜比传统的钛膜具有更大的吸气速度。
- 吸气剂泵送系统-201580024517.7
- 安东尼奥·博努奇;保罗·马尼尼;法布里齐奥·西维耶罗;皮耶尔乔治·索纳托 - 工程吸气公司
- 2015-06-24 - 2019-06-18 - F04B37/02
- 一种对线性加速器或者更一般地对大空间环境特别有用的吸气剂泵送系统,其中,多个具有线性支承件(110、110’、110”、…110n)的吸气剂盒(100、100’、100”、…100n)和多个线性加热器(120、120’、…120n)以高密度构型连接至具有至少0.5m2的表面面积的壁(11)。
- 带有形状记忆合金弹簧的吸气剂泵-201820743366.1
- 郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 - 南京华东电子真空材料有限公司
- 2018-05-18 - 2019-01-04 - F04B37/02
- 本实用新型涉及一种带有形状记忆合金弹簧的吸气剂泵,包括加热及固定组件、金属垫片、带孔的多孔吸气材料、底座、形状记忆合金弹簧;其中,多个带孔的多孔吸气材料通过金属垫片分隔开,串在加热及固定组件上,通过形状记忆合金弹簧和螺母固定,加热及固定组件固定在底座上。优点:1)形状记忆合金制成的弹簧放气速率明显小于传统弹簧钢的放气速率,有利于吸气剂泵获得更高的极限真空。2)避免传统弹簧钢在吸气剂泵反复再生激活时因退火而失去弹性的现象。3)直接使用带孔的多孔吸气材料,简化了多孔吸气材料的加工步骤。
- 一种大型直板式钛升华泵结构-201511019134.9
- 杨宪福;曹建勇;毕诗永 - 核工业西南物理研究院
- 2015-12-30 - 2018-11-30 - F04B37/02
- 本发明属于真空技术领域,具体涉及一种大型高抽速直板式钛升华泵的结构。包括以下三部分:(1)泵体主体为N块侧吸附板和N‑1块背吸附板,侧吸附板垂直于背吸附板,在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板;(2)分别在侧吸附板和背吸附板的上下两端设置大法兰和底托板,冷却水接头从大法兰中穿过,为侧吸附板和背吸附板中的冷却水管提供循环水;在大法兰上对应每个吸附腔体位置的中心处设置6个供电电极,分别为吸附腔体中的6根钛丝供电;(3)在每个吸附腔体内沿每个铜接头的下端设置一根钛丝,每根钛丝的下端配备一个质量为2公斤的配重坠;每个配重坠包括铜柱,设置在铜柱顶端的防喷涂陶瓷罩,包覆在铜柱外侧的绝缘陶瓷管。
- 一种双阴极气体捕集型真空泵-201721916210.0
- 邵文生;于志强;高玉娟 - 中国电子科技集团公司第十二研究所
- 2017-12-31 - 2018-08-17 - F04B37/02
- 本实用新型公开一种双阴极气体捕集型真空泵,包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱,阴极组件和阳极,该阴极组件包括两个阴极。本实用新型双阴极气体捕集型真空泵本实用新型所述技术方案通过在真空泵中设置两个阴极,实现体积小巧、结构紧凑、工作电压低、无磁铁、寿命长且应用范围广泛的真空泵,可以作为各种小型真空电子器件的真空维持单元。
- 低温离子泵-201711418076.6
- 邓家良;冯苌春;曾环;孙志和;武义锋 - 安徽万瑞冷电科技有限公司
- 2017-12-24 - 2018-07-20 - F04B37/02
- 本发明公开了一种低温离子泵,其特征在于,包括:壳体,其顶部设有吸入气体的开口;磁体,安装于所述壳体左右两侧表面;G‑M制冷机,其包括分体连接的膨胀机和压缩机,所述壳体底部安装于所述膨胀机上;冷却台,连接所述膨胀机,通过所述壳体底部设有的通孔伸入所述壳体内;传热板,热连接安装于所述冷却台上表面;阴极板,热连接安装于所述传热板上;以及阳极筒,以任何方式绝缘地安装于所述壳体内,且位于所述阴极板间。本发明提供的低温离子泵可对阴极板进行可靠的制冷,显著增强对氢气以及部分稀有气体的排气能力。
- 气体捕集型真空泵及其制作方法和使用方法-201711496186.4
- 邵文生;于志强;高玉娟 - 中国电子科技集团公司第十二研究所
- 2017-12-31 - 2018-06-22 - F04B37/02
- 本发明公开一种气体捕集型真空泵,包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱,阴极组件和阳极,该阴极组件包括两个阴极。本发明所述技术方案通过在真空泵中设置两个阴极,实现体积小巧、结构紧凑、工作电压低、无磁铁、寿命长且应用范围广泛的真空泵,可以作为各种小型真空电子器件的真空维持单元。本发明进一步提供一种气体捕集型真空泵的制作方法和使用方法。
- 吸气剂泵-201580017115.4
- 安东尼奥·博努奇;保罗·马尼尼;安德烈亚·康特;卢卡·维亚勒 - 工程吸气公司
- 2015-03-25 - 2017-09-22 - F04B37/02
- 一种吸气剂泵,包括壳体(21、21’)和安装在所述吸气剂泵壳体(21、21’)内的多个吸气剂筒(22、23、24、25),其中,所述壳体的形状为具有旋转轴(26)的旋转体,每个筒(22、23、24、25)包括线形中心支承件(221、231、241、251)和安装在所述线形中心支承件(221、231、241、251)上的间隔开的吸气剂元件,正交于旋转轴(26)并且与线形中心支承件(221、231、241、251)的中点相交的平面定义为吸气剂筒定位平面(222、232、242、252),并且由所述定位平面(222、232、242、252)相对于线形中心支承件(221、231、241、251)而形成的角(α、α’、α”、α”’)介于35°与75°之间。
- 一种内嵌式大抽速的吸气剂泵-201621138336.5
- 吴文一;陈军;石晓沛 - 南京益东惠电子科技有限公司
- 2016-10-19 - 2017-04-12 - F04B37/02
- 一种内嵌式大抽速的吸气剂泵,包括法兰、电加热器、吸气剂片和过滤网罩;所述电加热器有多个,多个电加热器围绕法兰的轴线成轴对称;电加热器的外形是圆柱形状,它们垂直连接在法兰的底面上;电加热器的两个电极从电加热器的首端伸出,电加热器首端与法兰顶面齐平或高出法兰顶面;在法兰上装有两个母线,每个电加热器的电极对中,两个电极分别对应连接在一个母线上;所述两个母线都是带缺口的环形;两个母线的圆心都在法兰的轴线上;两个母线分别在电极对的内侧和外侧;吸气剂片有多个,且它是圆环形状;对于任一个电加热器,多个吸气剂片相互平行地套装在电加热器外壁上,且相邻吸气剂片之间设有间隔;所述过滤网罩罩在各个串有吸气剂的加热器外。
- 一种适用于外加热激活的筒状吸气剂泵-201621139399.2
- 吴文一;陈军;石晓沛 - 南京益东惠电子科技有限公司
- 2016-10-19 - 2017-04-12 - F04B37/02
- 一种适用于外加热激活的筒状吸气剂泵,包括外壳、法兰和吸气剂带;外壳是一端开口、另一端封闭的筒状,法兰连接在外壳的开口端;吸气剂带上覆有吸气剂粉末;外壳中设有芯柱,芯柱的壁是网状的;芯柱的轴线方向与外壳的轴线方向相同;芯柱与外壳内壁之间的空腔为吸气剂容纳腔体,在吸气剂容纳腔体与外壳内腔之间装有滤网;所述吸气剂带绕在芯柱外,相邻层的吸气剂带之间留有间隙。本技术方案的技术特点整体吸气剂泵安装方便;适用于采用外置的加热装置加热方式,无高压高频,不干扰磁场,不存在漏电现象,无产生寄生电容的器件等。
- 改进的泵送装置以及所述泵送装置的控制方法-201380012783.9
- P·阿勒斯 - 阿特利耶博世股份有限公司
- 2013-03-05 - 2017-03-08 - F04B37/02
- 本发明涉及一种泵送装置(IP),其至少包括一个第一正排量机器(10)和一个第二正排量机器(20),以及控制模块(MC),在所述装置中,借助于该第一正排量机器(10)和/或该第二正排量机器(20)将气体(G)从封闭体积(VE)排出。此外,该泵送装置(IP)包括受该控制模块(MC)控制的至少一个控制阀(VC)和用于在该第一正排量机器(10)的出口处感测压力的值的压力传感器(CP)和/或用于在该第一正排量机器(10)的出口处感测温度的值的温度传感器(TP),从而控制气体(G)在该封闭体积(VE)和该泵送装置(IP)的该出口之间的流动。
- 一种采用蒸散型吸气合金的吸气剂泵-201410803728.8
- 王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 - 南京华东电子真空材料有限公司
- 2014-12-23 - 2017-02-22 - F04B37/02
- 本发明是一种采用蒸散型吸气合金的吸气剂泵系统,其特征是它包括1)采用蒸散型吸气合金作为有效吸气材料;2)自带吸气合金载体;3)自带激活热源。本发明的优点通过自带壳体解决了某些真空器件无法接受活性金属附着的问题;通过采用蒸散型吸气材料的主材解决了传统吸气剂泵吸收C、O、N等类型的气体效率偏低的问题,并使本系统不需反复激活,一次激活便可释放全部吸气能力;通过自带激活热源解决了部分真空器件无法高频激活吸气剂的问题,通过内部结构的设计增大了有效面积,提高了吸气速率和吸气量;外形尺寸及安装方式灵活。通过本发明,可满足真空领域及气体纯化领域一些器件对吸气剂泵的要求。
- 一种内加热型吸气剂元件和大抽速吸气剂泵-201310710670.8
- 崔建东;杨志民;苑鹏;张心强;朱君;杜军 - 北京有色金属研究总院
- 2013-12-19 - 2017-02-08 - F04B37/02
- 本发明属真空技术领域,特别涉及一种内加热型吸气剂元件和大抽速吸气剂泵。本发明内加热型吸气剂元件内部为加热丝,外部吸气剂材料,外观呈多层塔状结构,以充分增大吸气剂材料的表面积,获得高的吸气速率。吸气剂材料采用注射成型技术一次成型制造,结构牢固,使用安全。本发明大抽速吸气剂泵由内加热型吸气元件与金属外壳构成。金属外壳一端设有内焊法兰泵口;另一端设置金属盲板泵底,金属盲板泵底上焊接有绝缘电极,绝缘电极内侧与吸气剂元件的加热丝引线连接,外侧则供吸气剂元件通电激活时与电源设备连接。本发明大抽速吸气剂泵整体结构设计合理,使用安全便捷,抽气效率高,适用于各类真空设备内部真空度的有效提高或长期无源维持。
- 一种大型直板式钛升华泵结构-201521134086.3
- 杨宪福;曹建勇;毕诗永 - 核工业西南物理研究院
- 2015-12-30 - 2016-08-31 - F04B37/02
- 本实用新型属于真空技术领域,具体涉及一种大型直板式钛升华泵。包括以下三部分:(1)泵体主体为N块侧吸附板和N‑1块背吸附板,侧吸附板垂直于背吸附板,在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板;(2)分别在侧吸附板和背吸附板的上下两端设置大法兰和底托板,冷却水接头从大法兰中穿过,为侧吸附板和背吸附板中的冷却水管提供循环水;在大法兰上对应每个吸附腔体位置的中心处设置6个供电电极,分别为吸附腔体中的6根钛丝供电;(3)在每个吸附腔体内沿每个铜接头的下端设置一根钛丝,每根钛丝的下端配备一个质量为2公斤的配重坠;每个配重坠包括铜柱,设置在铜柱顶端的防喷涂陶瓷罩,包覆在铜柱外侧的绝缘陶瓷管。
- 一种新型结构的大抽速吸气剂泵-201310718359.8
- 杨志民;崔建东;苑鹏;杜军 - 北京有色金属研究总院
- 2013-12-23 - 2015-06-24 - F04B37/02
- 本发明提供一种新型结构的大抽速吸气剂泵,该吸气剂泵包括泵体和数个吸气功能模块,该泵体的上端为泵口,下端为带有绝缘电极的金属盲板,数个吸气功能模块通过金属支架固定在金属盲板上;每个吸气功能模块由若干个吸气剂元件和一个金属框架组成,若干个吸气剂元件并列固定在该金属框架上;若干个吸气剂元件的加热电极通过并联的方式与金属盲板上的绝缘电极连接。本发明的吸气剂泵可以充分增大吸气剂材料的有效工作面积,以保证获得足够大的吸气速率和吸气总量,极大地提高了吸气剂激活过程中的加热效率,实现了整泵的低功率和高效率;还可以显著降低吸气泵泵体的温度。本发明的吸气剂泵内部结构简单,使用安全便捷,尺寸小、能耗低。
- 一种内加热型吸气剂元件和大抽速吸气剂泵-201320845092.4
- 崔建东;杨志民;苑鹏;张心强;朱君;杜军 - 北京有色金属研究总院
- 2013-12-19 - 2014-06-11 - F04B37/02
- 本实用新型属真空技术领域,特别涉及一种内加热型吸气剂元件和大抽速吸气剂泵。本实用新型内加热型吸气剂元件内部为加热丝,外部吸气剂材料,外观呈多层塔状结构,以充分增大吸气剂材料的表面积,获得高的吸气速率。吸气剂材料采用注射成型技术一次成型制造。本实用新型大抽速吸气剂泵由内加热型吸气元件与金属外壳构成。金属外壳一端设有内焊法兰泵口;另一端设置金属盲板泵底,金属盲板泵底上焊接有绝缘电极,绝缘电极内侧与吸气剂元件的加热丝引线连接,外侧则供吸气剂元件通电激活时与电源设备连接。本实用新型大抽速吸气剂泵整体结构设计合理,使用安全便捷,抽气效率高,适用于各类真空设备内部真空度的有效提高或长期无源维持。
- 一种模块化静态真空维持装置-201320349725.2
- 张勇;金晓;陈代兵;王冬 - 中国工程物理研究院应用电子学研究所
- 2013-06-19 - 2013-12-04 - F04B37/02
- 本实用新型提供了一种模块化静态真空维持装置的技术方案,该方案为一种模块化静态真空维持装置,包括有真空室筒壁,真空室筒壁的外侧面上设置有加热罩;真空室筒壁的内侧面上设置有底座;底座上固定有吸气泵模块;吸气泵模块与真空室筒壁内侧面之间设置有导热块。该方案能够利用锆钒铁吸气片的自身特性,无需使用真空机组定期抽真空便可维持真空室内的真空环境。
- 一种模块化静态真空维持装置-201310241880.7
- 张勇;金晓;陈代兵;王冬 - 中国工程物理研究院应用电子学研究所
- 2013-06-19 - 2013-09-18 - F04B37/02
- 本发明提供了一种模块化静态真空维持装置的技术方案,该方案为一种模块化静态真空维持装置,包括有真空室筒壁,真空室筒壁的外侧面上设置有加热罩;真空室筒壁的内侧面上设置有底座;底座上固定有吸气泵模块;吸气泵模块与真空室筒壁内侧面之间设置有导热块。该方案能够利用锆钒铁吸气片的自身特性,无需使用真空机组定期抽真空便可维持真空室内的真空环境。
- 一种抽气系统及工艺-201210170072.1
- 储琦;储昕 - 储琦;储昕
- 2012-05-29 - 2012-09-26 - F04B37/02
- 本发明适用于真空获得技术领域,提供了一种抽气系统及工艺,所述抽气系统包括电弧钛泵及真空室,所述电弧钛泵直接与真空室连通。如此即可省却电弧钛泵与真空室间的高真空阀,结构简单,极大地降低了本抽气系统的成本。与本抽气系统相适应的,于电弧钛泵抽气结束后,真空室暴露大气之前,使钛靶冷却一段时间,从而降低钛靶表面的氧化损耗,提升钛靶的使用寿命。如此使得本抽气系统的性价比极高。
- 包括吸气泵和离子泵的组合泵送系统-201080012078.5
- A·博努奇;A·孔特;P·玛尼尼 - 工程吸气公司
- 2010-03-09 - 2012-02-15 - F04B37/02
- 本发明公开了一种包括吸气泵(120;220)和离子泵(130;230)的组合泵送系统。该吸气泵和该离子泵(120,130;220,230)被串联安装于同一法兰(111,211)上,并且被分别布置于其相对的侧面上以便于使吸气泵和离子泵朝向真空腔室中的气体流量源的传导性最大化,从而改进该系统的真空层级。
- 一种用于氢原子频标的外加热式钛基吸气剂泵-201020626905.7
- 张继红;陈强;操春燕;高连山;周铁中;沈国辉;杨仁福;李晶;张燕君;刘亚轩;黄健;部英男 - 中国航天科工集团第二研究院二○三所
- 2010-11-26 - 2011-06-15 - F04B37/02
- 本实用新型公开了一种用于氢原子频标的外加热式钛基吸气剂泵,包括:吸气剂片(1)、钨铜棒(2)、螺母(3)、上盖(4)、外筒(5)、金属网筛(6)、管道(7)、法兰(8)、底盖(9)。本实用新型采用多个钛基合金圆环吸气剂片(1),通过配合一个小型的钛溅射离子泵,在长时间运转的条件下,很好的维持氢原子频标装置真空。本实用新型体积小、重量轻、抽速大且稳定,吸气总量大,有利于延长使用寿命,适合大批量生产,既能降低成本,又能保证产品质量。
- 具有一体式热开关的吸附泵-200880008981.7
- J·A·乌尔巴恩;J·阿尔登克耶尔-拉森 - 通用电气公司
- 2008-01-24 - 2010-02-10 - F04B37/02
- 一种吸附泵系统,包括具有吸附材料以吸附气体分子的导热的内部容器。外部容器设置在内部容器的周围,并且包括与之连接的热传导法兰。在内部容器和外部容器之间形成气体腔。气体腔被构造成在其中能够密封地包含导热气体。
- 专利分类