[发明专利]保护剂组合物和保护剂图案形成方法

摘要

本发明的保护剂组合物包含特定的式子所表示的化合物。上述化合物尽管是低分子量，由于其高芳香族性骨架而具有高的耐热性，从而也可在高温烘焙条件下使用。由于如上述那样的构成，本发明的保护剂组合物的耐热性优异、对于安全溶剂的溶解性高、高灵敏度且能够赋予良好的保护剂图案形状。即，本发明的保护剂组合物作为酸扩增型非高分子系保护剂材料是有用的。

主权项

1.一种保护剂组合物，其包含下述式(1)所表示的化合物，式(1)中，R¹为碳原子数1～30的由R^A‑R^B所表示的基团；此处，该R^A为次甲基，该R^B为碳原子数7以上的芳基；R²～R⁵分别独立地为碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳原子数6～10的芳基、碳原子数2～10的烯基、巯基或羟基；此处，R⁴的至少一个和/或R⁵的至少一个为羟基和/或巯基；m²和m³分别独立地为0～8的整数；m⁴和m⁵分别独立地为0～9的整数；此处，m⁴和m⁵的至少一个为1～9的整数；n为1；p²～p⁵分别独立地为0～2的整数。