[发明专利]具有框的微机电结构有效
| 申请号： | 201580010237.0 | 申请日： | 2015-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN106030315B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 维尔-佩卡·吕特克宁 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B3/00;G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 唐京桥;李春晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 较不易受内部或外部电气干扰的鲁棒的微机电结构。该结构包括：运动元件，其具有被悬挂到支撑件的转子；第一框，其被锚定到支撑件，并且围绕运动元件；以及第二框，其被锚定到支撑件，并且在运动元件与第一框之间围绕运动元件，将第二框与第一框进行电隔离。将转子和第二框进行电耦接，以具有相同电位。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微机 结构 | ||
【主权项】：
一种微机电结构，包括：运动元件(100)，其包括被悬挂到支撑件的转子；第一框(104)，其被锚定到所述支撑件，并且围绕所述运动元件；以及第二框(106)，其被锚定到所述支撑件，并且在所述运动元件(100)与所述第一框(104)之间围绕所述运动元件，所述第二框(106)与所述第一框(104)电隔离；其中所述转子和所述第二框(106)被电耦接，以具有相同电位。
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