[实用新型]干刻蚀装置有效
| 申请号： | 201520996048.2 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN205140926U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 徐岩 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种干刻蚀装置，其包括腔室及位于腔室内的基板支撑台和上部电极，所述干刻蚀装置还包括分布于基板支撑台上且彼此相互独立设置的若干冷却气道以及连通所述冷却气道的供气装置。与现有技术相比，本实用新型所述干刻蚀装置通过在基板支撑台上分布相互独立的冷却气道，由控制装置独立控制每个冷却气道的供气量，以此实现对基板不同区域的工艺温度进行独立控制，以达到调节各区域刻蚀速率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种干刻蚀装置，包括腔室及位于腔室内的基板支撑台和上部电极，其特征在于，所述干刻蚀装置还包括分布于基板支撑台上且彼此相互独立设置的若干冷却气道以及连通所述冷却气道的供气装置。
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