[实用新型]压电传感器有效
| 申请号： | 201520964345.9 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN205595376U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | F·普罗科皮奥;C·瓦尔扎辛 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/04;G01L1/16 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 一种压电传感器(10)，该压电传感器(10)形成在半导体材料芯片中，该半导体材料芯片具有限定平面(XY)的表面(13A)并且集成有用于感测在平面内作用的力的感测结构(11；30；60)。芯片由限定悬臂(12；32；52；62)的衬底(13；33)形成，该悬臂(12；32；52；62)具有被约束到衬底的锚固部(15)的第一端(12A)和在外力的作用下自由弯曲的第二端(12B)。悬臂具有第一和第二纵向半部，每个纵向半部承载平行于芯片平面延伸的压电材料的相应的条状元件(16，17)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 传感器 | ||
【主权项】：
一种压电传感器(10)，其特征在于包括：半导体材料芯片，所述半导体材料芯片具有限定平面(XY)的表面(13A)并且集成有用于感测在所述平面内作用的力的感测结构(11；30；60)，所述芯片包括形成第一悬臂(12；32；52；62)的衬底(13；33)，所述第一悬臂(12；32；52；62)具有限定纵向方向(Y)的细长形状并且具有第一端和第二端(12A，12B；32A，32B)，所述第一端(12A；32A)被约束到锚固部(15)，所述第一悬臂限定第一纵向半部和第二纵向半部并且支承在所述第一悬臂的所述第一纵向半部上平行于所述芯片平面延伸的压电材料的第一条状元件(16；36，37)。
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