[实用新型]一种用于沉积OVD疏松体的装置有效
| 申请号： | 201520910987.0 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN205115285U | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 沈小平;向德成;满小忠;田锦成;钱昆;何炳 | 申请（专利权）人： | 江苏通鼎光棒有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于沉积OVD疏松体的装置，包括石英质喷灯以及喷灯出口处正对芯棒设置的石墨中心管；喷灯外部设有第一加热装置，在该第一加热装置外侧设有第一保温层；石墨中心管外部设有第二加热装置，在该第二加热装置外侧设有第二保温层；第二保温层外侧设有金属壳体，在该金属壳体上设有进气口；在芯棒两侧靠近石墨中心管的位置设有第三加热装置；喷灯中心设有内腔，环绕内腔由内而外依次设有第一屏蔽腔、中间腔、第二屏蔽腔和外腔。本实用新型用高纯度的去离子水作为SiCl4水解的反应物，通过合理的温度场控制来调节目标疏松体的密度。工艺稳定性和沉积效率，降低了生产成本，提高了生产安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 沉积 ovd 疏松 装置 | ||
【主权项】：
一种用于沉积OVD疏松体的装置，其特征在于：包括石英质喷灯以及喷灯出口处正对芯棒设置的石墨中心管；所述喷灯外部设有第一加热装置，在该第一加热装置外侧设有第一保温层；所述石墨中心管外部设有第二加热装置，在该第二加热装置外侧设有第二保温层；所述第二保温层外侧设有金属壳体，在该金属壳体上设有进气口；在所述芯棒两侧靠近所述石墨中心管的位置设有第三加热装置；所述喷灯中心设有内腔，环绕所述内腔由内而外依次设有第一屏蔽腔、中间腔、第二屏蔽腔和外腔。
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