[实用新型]一种电感器结构有效
申请号: | 201520802559.6 | 申请日: | 2015-10-13 |
公开(公告)号: | CN205016322U | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 黄河;克里夫·德劳利;李海艇;朱继光 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01F17/00 | 分类号: | H01F17/00;H01F17/04 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 唐棉棉 |
地址: | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种电感器结构,所述电感器结构至少包括:多个第一金属层和多个第二金属层;每一个第一金属层的两端形成有第一通孔;所述第二金属层通过第一通孔将相邻第一金属层的不同端进行顺次连接,形成电感器结构。所述电感器结构还可以包括形成在所述第一金属层和第二金属层之间的第三金属层。本实用新型通过形成金属三维堆叠结构,节省了芯片面积,获得了更高的电感值。另外,制作电感器结构的工艺与CMOS工艺兼容,适用于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 电感器 结构 | ||
【主权项】:
一种电感器结构,其特征在于,所述电感器结构至少包括:多个第一金属层和多个第二金属层;每一个第一金属层的两端形成有第一通孔;所述第二金属层通过第一通孔将相邻第一金属层的不同端进行顺次连接,形成电感器结构。
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