[实用新型]一种单晶硅抛光片在线检测仪有效
| 申请号： | 201520610444.7 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN204902814U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 邓德翼;高烨;赵文龙;胡晓亮;李宏儒;牛海涛 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22;G01B21/00;G01B5/06 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 罗民健 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种单晶硅抛光片在线检测仪，包括千分表表架和千分表，千分表表架的中间位置设有千分表安装孔，千分表安装孔内设有保护环，所述千分表穿过千分表安装孔并通过保护环装配在千分表表架上，千分表表架上还设有用于控制保护环与千分表轴之间间隙大小的顶丝，所述千分表表架位于千分表安装孔的一侧沿长度方向设有三个可连接底脚的底脚安装孔Ⅰ，千分表表架位于千分表安装孔的另一端沿长度方向设有三组可连接底脚安装孔Ⅱ，每组底脚安装孔Ⅱ包括并排设置的两个底脚安装孔Ⅱ。本实用新型可以直接在线检测单晶硅抛光片抛光去除量和锥度的目的，提高了生产的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 抛光 在线 检测 | ||
【主权项】：
一种单晶硅抛光片在线检测仪，其特征在于：包括千分表表架（1）和千分表，千分表表架（1）的中间位置设有千分表安装孔（5），千分表安装孔（5）内设有保护环（6），所述千分表穿过千分表安装孔（5）并通过保护环（6）装配在千分表表架（1）上，千分表表架（1）上还设有用于控制保护环（6）与千分表轴之间间隙大小的顶丝（7），所述千分表表架（1）位于千分表安装孔（5）的一侧沿长度方向设有三个可连接底脚（3）的底脚安装孔Ⅰ（2），千分表表架（1）位于千分表安装孔（5）的另一端沿长度方向设有三组可连接底脚（3）底脚安装孔Ⅱ（4），每组底脚安装孔Ⅱ（4）包括并排设置的两个底脚安装孔Ⅱ（4）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦斯克电子材料有限公司，未经麦斯克电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520610444.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
