[实用新型]双阴极绝缘隔离装置及使用双阴极绝缘隔离装置的等离子表面冶金炉有效

专利信息
申请号: 201520413161.3 申请日: 2015-06-15
公开(公告)号: CN204779775U 公开(公告)日: 2015-11-18
发明(设计)人: 魏祥飞;朱雨微;张平则;魏东博;丁丰 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: C23C8/36 分类号: C23C8/36
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 贺翔
地址: 210016 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开一种双阴极绝缘隔离装置及使用双阴极绝缘隔离装置的等离子表面冶金炉,其中双阴极绝缘隔离装置包括由轴承外环、液柱及轴承内环组成的轴承;将轴承套设于其上的金属轴;套设于轴承外的金属左闭环和金属右闭环;使用双阴极绝缘隔离装置的等离子表面冶金炉包括炉底盘、安置在炉底盘上的支撑装置、支撑装置上集成有源极和阴极,双阴极绝缘隔离装置设置于源极和阴极之间,其中源极和阴极的全部重量均靠炉底盘来承担,两极之间通过具有灭弧功能的双阴极绝缘隔离装置来隔离,避免大重量吊挂结构造成的源极和工件结构变形,适用于大面积工件的处理。
搜索关键词: 阴极 绝缘 隔离 装置 使用 等离子 表面 冶金
【主权项】:
一种双阴极绝缘隔离装置,其特征在于:包括由轴承外环(1)、液柱(2)及轴承内环(3)组成的轴承;将轴承套设于其上的金属轴(4);套设于轴承外的金属左闭环(5)和金属右闭环(6),所述金属左闭环(5)和金属右闭环(6)与金属轴(4)间设有深度大于10mm,宽度1‑2.5mm间隙,所述金属左闭环(5)和金属右闭环(6)与轴承之间设有深度大于10mm,宽度1‑2.5mm间隙。
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