[实用新型]一种雾滴沉积传感器有效

专利信息
申请号: 201520203549.0 申请日: 2015-04-07
公开(公告)号: CN204594846U 公开(公告)日: 2015-08-26
发明(设计)人: 宁雁博 申请(专利权)人: 天津市雁博丰汇科技有限公司
主分类号: G01N15/04 分类号: G01N15/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300074 天津市河*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型提供一种可实现对覆盖雾滴量实时测量的雾滴沉积传感器,包括:极板电容器、多路切换开关、电容频率转换电路、频率电压转换电路、模数转换电路及控制单元,极板电容器包括衬底,衬底上设有覆铜线路组,覆铜线路组包括多个间隔排列的第一铜线和第二铜线,所有的第一铜线的左端共同连接第一集线点,每个第二铜线的右端分别对应连接第二集线点,相邻的第一铜线和第二铜线之间的线路间距为0.1mm。
搜索关键词: 一种 雾滴 沉积 传感器
【主权项】:
一种雾滴沉积传感器,其特征在于,包括:极板电容器、多路切换开关、电容频率转换电路、频率电压转换电路、模数转换电路及控制单元,所述极板电容器包括:衬底,所述衬底上设有覆铜线路组,所述覆铜线路组包括多个间隔排列的第一铜线和第二铜线,所有的第一铜线的左端共同连接第一集线点,所述每个第二铜线的右端分别对应连接第二集线点,相邻的所述第一铜线和所述第二铜线之间的线路间距为0.1mm;所述极板电容器的第一集线点与所述电容频率转换电路的输入端连接,所述极板电容器的第二集线点与所述多路切换开关的输入端连接,所述电容频率转换电路的输出端与所述频率电压转换电路的输入端连接,所述频率电压转换电路的输出端与所述模数转换电路的输入端连接,所述模数转换电路的输出端与所述控制单元的输入端连接,所述控制单元的输出端与所述多路切换开关的输出端连接。
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