[发明专利]剥离方法及剥离装置

摘要

本发明关于一种剥离方法及剥离装置。本发明的保持机构通过保持第一板状体而保持密接体，且使抵接部件抵接在第二板状体。与抵接部件沿剥离方向移动连动，沿与密接体的主面平行的剥离方向排列的多个剥离机构通过依次保持第二板状体且使第二板状体向自第一板状体离开的方向移动而使两者剥离。关于各剥离机构的移动开始时序，通过事前执行抵接部件的移动，并实际测定表示该移动中的抵接部件的位置的位置资讯、与抵接部件通过与剥离机构的对向位置的时序而规定。

主权项

一种剥离方法，使第一板状体与第二板状体直接或隔着薄层密接而成的密接体剥离，且具备：配置步骤，保持机构通过保持所述第一板状体而保持所述密接体，各者具有部分性地抵接在所述第二板状体而保持所述第二板状体的功能的多个剥离机构，沿与所述第二板状体的表面平行的剥离方向、且在所述第二板状体的表面与所述剥离机构之间隔开间隙而排列；以及剥离步骤，抵接部件一面抵接在所述第二板状体的表面一面在与所述剥离机构的间隙空间沿所述剥离方向移动，所述剥离机构的各者在沿所述剥离方向依次向所述第二板状体移动且抵接在所述抵接部件通过后的所述第二板状体的表面之后，一面保持所述第二板状体一面相对于所述第一板状体沿离开方向移动而使所述第二板状体自所述第一板状体离开；且所述剥离机构各者的移动时序是根据预先使所述抵接部件沿所述剥离方向移动而取得的所述抵接部件通过与所述剥离机构的对向位置的时序、与表示所述抵接部件的所述剥离方向上的位置的位置资讯的对应关系而设定。