[发明专利]一种MEMS压力传感元件及其制造方法有效
| 申请号： | 201510367571.3 | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN104897333B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 郑国光 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/02 | 分类号： | G01L9/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 马佑平,马铁良 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS压力传感元件，包括设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；悬置于密封腔体内的平行于压力敏感膜的压力敏感梁，其上设置有压敏电阻；压力敏感梁的中心与压力敏感膜的中心固定连接，外周与基底凹槽的底壁固定连接，以使压力敏感膜在外界压力作用下带动压力敏感梁弯曲变形。本发明还公开了一种MEMS压力传感元件的制造方法。本发明的MEMS压力传感元件，压力作用在压力敏感膜上时，压力敏感膜带动压力敏感梁运动引起压力敏感梁的弯曲，继而引起压力敏感梁上的压敏电阻的阻值的变化，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对压力传感元件的电学部分的电磁干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力 传感 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS压力传感元件，其特征在于，包括：设有凹槽的基底(1)；设置于所述基底(1)上方的压力敏感膜(100)，所述压力敏感膜(100)密封所述凹槽的开口以形成密封腔体(700)；悬置于所述密封腔体(700)内的平行于所述压力敏感膜(100)的压力敏感梁(200)，所述压力敏感梁(200)上设置有压敏电阻(300)；其中，所述压力敏感梁(200)为十字形，所述压力敏感梁(200)的中心通过第一锚点(400)与压力敏感膜(100)的中心固定连接，所述压力敏感梁(200)的外周与基底(1)凹槽的底壁固定连接，以使所述压力敏感膜(100)在外界压力作用下带动所述压力敏感梁(200)弯曲变形。
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