[发明专利]传感器基板、其制造方法和具有传感器基板的显示装置有效
| 申请号： | 201510146210.6 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN104978080B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 吕伦钟;金志宪;赵炫珉 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/042 | 分类号： | G06F3/042;G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 11286 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘灿强;尹淑梅 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了传感器基板、其制造方法和具有传感器基板的显示装置。传感器基板包括：基底基板以及基底基板上的感测晶体管和开关晶体管。感测晶体管包括：第一栅电极、第一栅电极上的光学响应图案、光学响应图案上的并且彼此隔开的第一源电极和第一漏电极、第一源电极和光学响应图案之间的第一氧化物半导体图案、以及第一漏电极和光学响应图案之间的第二氧化物半导体图案。开关晶体管包括：第二栅电极、第二栅电极上的第三氧化物半导体图案、以及第三氧化物半导体图案上彼此隔开的第二源电极和第二漏电极。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 制造 方法 具有 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种传感器基板，包括：/n基底基板；/n所述基底基板上的感测晶体管；以及/n所述基底基板上的开关晶体管，/n所述感测晶体管包括：/n第一栅电极；/n所述第一栅电极上的光学响应图案；/n第一源电极和第一漏电极，位于所述光学响应图案上并且彼此间隔开；/n第一氧化物半导体图案，介于所述第一源电极和所述光学响应图案之间；/n第二氧化物半导体图案，介于所述第一漏电极和所述光学响应图案之间；/n第一欧姆接触图案，介于所述光学响应图案和所述第一氧化物半导体图案之间；以及/n第二欧姆接触图案，介于所述光学响应图案和所述第二氧化物半导体图案之间，/n所述开关晶体管包括：/n第二栅电极；/n所述第二栅电极上的第三氧化物半导体图案；以及/n第二源电极和第二漏电极，位于所述第三氧化物半导体图案上并且彼此间隔开。/n
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