[发明专利]一种硅片插片机用分片机构在审
申请号: | 201510080495.8 | 申请日: | 2015-02-13 |
公开(公告)号: | CN104670936A | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 邱文良 | 申请(专利权)人: | 苏州博阳能源设备有限公司 |
主分类号: | B65H3/04 | 分类号: | B65H3/04;B65H3/46 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 王华 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种硅片插片机用分片机构,包括第一输送带、第二输送带、储片盒和吹气口;所述第一输送带与第二输送带上下间隔设置,所述第一输送带位于所述第二输送带的上方,且所述第一输送带的第一端的投影位于所述第二输送带上,所述储片盒对应所述第一输送带的第二端设置,所述储片盒内设有硅片上下移动驱动装置;所述吹气口位于所述第一输送带的下方,吹气方向朝向所述储片盒设置;所述储片盒内容纳有水。本发明采用第一输送带和吹气口共同作用将堆垛的硅片分开,具有分片效率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 插片机用 分片 机构 | ||
【主权项】:
一种硅片插片机用分片机构,其特征在于:包括第一输送带、第二输送带、储片盒和吹气口;所述第一输送带与第二输送带上下间隔设置,所述第一输送带位于所述第二输送带的上方,且所述第一输送带的第一端的投影位于所述第二输送带上,所述储片盒对应所述第一输送带的第二端设置,所述储片盒内设有硅片上下移动驱动装置;所述吹气口位于所述第一输送带的下方,吹气方向朝向所述储片盒设置;所述储片盒内容纳有水。
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