[发明专利]一种X射线层状多层膜闪耀光栅结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201510078918.2 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104698520B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王占山;黄秋实;杨笑微;伊葛·科谢尼可夫 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司31225 | 代理人： | 赵继明 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种X射线层状多层膜闪耀光栅结构及其制作方法，所述层状多层膜闪耀光栅结构包括闪耀光栅基底，所述闪耀光栅基底上设置有周期性分布的锯齿结构，形成的光栅周期为D，各锯齿结构均包括闪耀面和反闪耀面，所述闪耀面的中心区域镀制有多层膜堆。与现有技术相比，本发明克服了传统多层膜闪耀光栅(BMG)和层状多层膜光栅(LMG)的缺点；相比BMG解决了其在反闪耀面附近非复形生长区域膜层吸收大，导致实际衍射效率远低于理论值的问题；相比LMG，多层膜的倾角使其能在高级次获得极高的衍射效率。本发明能同时获得高效率和分辨率，可作为高精度X射线光谱测量的关键元件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射线 层状 多层 闪耀 光栅 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种X射线层状多层膜闪耀光栅结构，包括闪耀光栅基底，所述闪耀光栅基底上设置有周期性分布的锯齿结构，形成的光栅周期为D，各锯齿结构均包括闪耀面和反闪耀面，所述闪耀面的中心区域镀制有多层膜堆，其特征在于，所述多层膜堆横向宽度与光栅周期的比值为多层膜占宽比Γ，0<Γ<Γg，Γg为光栅占宽比，即闪耀面宽度与光栅周期的比值。
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