[发明专利]用于热解碳化硅片生长石墨烯的坩埚在审
申请号: | 201510071246.2 | 申请日: | 2015-02-11 |
公开(公告)号: | CN105984865A | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 芦伟;郭丽伟;陈小龙 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;王博 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种用于热解碳化硅片生长石墨烯的坩埚,包括呈筒状的坩埚体;位于所述坩埚体上的第一坩埚盖,所述第一坩埚盖具有一个或多个第一通孔,所述第一通孔的孔径为0.01~3毫米,所述第一坩埚盖和所述坩埚体限定了一个用于容纳所述碳化硅片的容纳空间,所述容纳空间的高度为1~15毫米。在现有的工艺参数下采用本发明的坩埚能控制石墨烯的生长速率,从而制备高均匀性的石墨烯。 | ||
搜索关键词: | 用于 碳化 硅片 生长 石墨 坩埚 | ||
【主权项】:
一种用于热解碳化硅片生长石墨烯的坩埚,其特征在于,包括:呈筒状的坩埚体;位于所述坩埚体上的第一坩埚盖,所述第一坩埚盖具有一个或多个第一通孔,所述第一通孔的孔径为0.01~3毫米,所述第一坩埚盖和所述坩埚体限定了一个用于容纳所述碳化硅片的容纳空间,所述容纳空间的高度为1~15毫米。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所,未经中国科学院物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510071246.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种玻璃防水性测试装置
- 下一篇:一种发动机气缸气压检测装置