[发明专利]测量颗粒以及气体的测量装置、测量系统以及测量方法有效

专利信息
申请号: 201480080896.7 申请日: 2014-07-25
公开(公告)号: CN106574888B 公开(公告)日: 2019-05-31
发明(设计)人: 壶井修;丑込道雄;百濑悟 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: G01N15/02 分类号: G01N15/02;G01N25/18;G01N27/16
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 舒艳君;李洋
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及测量颗粒以及气体的测量装置、测量系统以及测量方法,测量装置(10)具备:第一流路(F1);加热部(17),其设置于第一流路(F1)的一端侧;气体感测部(15),其设置于第一流路(Fa)的一端侧,且能够利用从加热部(17)接受到的热来感测气体;颗粒测量部(10a),其在第一流路(F1)的比加热部(17)靠上方光学测量通过第一流路(F1)的颗粒。
搜索关键词: 测量 颗粒 以及 气体 装置 系统 测量方法
【主权项】:
1.一种测量装置,具备:第一流路;加热部,其设置于上述第一流路的一端侧;气体感测部,其设置于上述第一流路的上述一端侧,且能够通过从上述加热部接受到的热来感测气体;颗粒测量部,其在上述第一流路的比上述加热部靠上方光学测量通过上述第一流路的颗粒;以及第二流路,其将外部空气供给至上述第一流路的上述一端,上述气体感测部具有第一面和第二面,将上述第一面在上述第二流路露出,通过在上述第一面吸附气体,从而电阻发生变化,上述加热部对上述气体感测部的上述第二面进行加热,将上述第二流路的剖面形状设为圆形时的第二圆换算直径处于将上述第一流路的剖面形状设为圆形时的第一圆换算直径的2/8~7/8的范围,或者,在上述第二流路露出的上述气体感测部的上述第一面与上述第二流路的对置的部分的距离处于上述第一流路的上述第一圆换算直径的2/8~7/8的范围。
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