[发明专利]线电极放电加工装置、使用该线电极放电加工装置的薄板的制造方法以及半导体晶片的制造方法

摘要

为了通过从加工电源稳定地进行供电从而进行高精度的切断加工，在本发明中，在将线电极(3)在主导辊(1a～1d)之间卷挂多次，同时进行多个切割加工的线电极放电加工装置中，缩短将多根线电极(3)向供电件的线电极架设作业，对切割线电极部(CL)进行均匀的供电，谋求稳定的加工，将多个供电件按照排列位置以单元为单位，与作为供电对象的各切割线电极部的线电极并列间隔相对应地进行排列，并且配置为至少每隔1根线电极而向切割线电极部进行供电。

主权项

一种线电极放电加工装置，其具备：一对导辊，它们隔开间隔平行地配置；一根线电极，其在所述一对导辊之间以恒定间距分离并多次卷挂，该线电极随着所述导辊的旋转而行进，并且在所述一对导辊之间形成彼此分离的多个并列线电极部；供电件单元，其具备与作为供电对象的各切割线电极部的线电极并列间隔相对应地排列，并与所述多个并列线电极部分别接触而供电的多个供电件，相邻的各供电件被排列为至少每隔1根线电极而向所述并列线电极部进行供电；以及加工电源，其在供电件与线电极之间施加电压而产生放电，在相同的所述供电件单元中排列的供电件彼此电连接，其特征在于，所述线电极放电加工装置还具有一对减振导辊，它们设置在所述一对导辊之间，与所述并列线电极部分别从动接触而形成减振后的切割线电极部，所述供电件单元具备在两端处具有轴端支撑部的供电件支架，能够进行所述供电件的位置控制。